石墨坩堝晶體硅液面雙色高溫計(jì) 多晶硅鑄錠爐紅外測(cè)溫儀 石墨坩堝光纖式紅外線測(cè)溫儀
石墨坩堝晶體硅液面雙色高溫計(jì)
多晶硅鑄錠爐紅外測(cè)溫儀 生產(chǎn)廠家
RF-4A14石墨坩堝光纖式紅外線測(cè)溫儀
DCTQ1-7014多晶硅液面溫度紅外測(cè)溫儀
DCTQ2-3514多晶硅液面溫度測(cè)量?jī)x
多晶硅液面溫度紅外測(cè)溫儀 高溫計(jì) 在線紅外測(cè)溫儀
多晶硅的生產(chǎn)是把高純多晶硅料裝入到鑄錠爐中，抽真空后，將硅料熔化成液態(tài)，通過(guò)鑄錠爐的自動(dòng)化的操作，使硅料形成一個(gè)豎直溫度梯度。液態(tài)硅自下向上緩慢地重新結(jié)晶，生成一塊大晶粒的多單晶體的鑄錠硅來(lái)。硅錠經(jīng)過(guò)退火、冷卻后出爐完成整個(gè)鑄錠過(guò)程。
目前國(guó)際上多晶硅生產(chǎn)主要的傳統(tǒng)工藝有：改良西門(mén)子法、硅烷法和流化床法。其中改良西門(mén)子工藝生產(chǎn)的多晶硅的產(chǎn)能約占世界總產(chǎn)能的80％。生產(chǎn)工藝以改良西門(mén)子法為例：
將裝有涂層的陶瓷坩堝放置在熱交換臺(tái)（冷卻板）上，放入適量的硅原料，然后安裝加熱設(shè)備、隔熱設(shè)備和爐罩，將爐內(nèi)抽真空，使?fàn)t內(nèi)壓力降至（0.05-0.1）mbar并保持真空。通入氬氣作為保護(hù)氣，使?fàn)t內(nèi)壓力基本維持在（400～600）mbar左右。
（2）加熱
利用石墨加熱器給爐體加熱，首先使石墨部件（包括加熱器、坩堝板、熱交換臺(tái)等）、隔熱層、硅原料等表面吸附的濕氣蒸發(fā)，然后緩慢加溫，使陶瓷坩堝的溫度達(dá)到1200℃～1300℃左右，該過(guò)程約需要4h～5h。
（3）化料
通入氬氣作為保護(hù)氣，使?fàn)t內(nèi)壓力基本維持在（400～600）mbar左右。逐漸增加加熱功率，使陶瓷坩堝內(nèi)的溫度達(dá)到1500℃左右，硅原料開(kāi)始熔化。熔化過(guò)程中一直保持1500℃左右，直至化料結(jié)束。該過(guò)程約需要9～11h。
（4）晶體生長(zhǎng)
硅原料熔化結(jié)束后，降低加熱功率，使陶瓷坩堝的溫度降至1420℃～1440℃硅熔點(diǎn)左右。陶瓷坩堝逐漸向下移動(dòng)，或者隔熱裝置逐漸上升，使得坩堝慢慢脫離加熱區(qū)，與周?chē)纬蔁峤粨Q；同時(shí)，冷卻板通水，使熔體的溫度自底部開(kāi)始降低，晶體硅首先在底部形成，并呈柱狀向上生長(zhǎng)，生長(zhǎng)過(guò)程中固液界面始終保持與水面平行，直至晶體生長(zhǎng)完成，該過(guò)程約需要20h～22h。
（5）退火
晶體生長(zhǎng)完成后，由于晶體底部和上部存在較大的溫度梯度，因此，晶錠中可能存在熱應(yīng)力，在硅片加工和電池制備過(guò)程中容易造成硅片碎裂。所以，晶體生長(zhǎng)完成后，晶錠保持在熔點(diǎn)附近2h～4h，使晶錠溫度均勻，以減少熱應(yīng)力。
（6）冷卻
晶錠在爐內(nèi)退火后，關(guān)閉加熱功率，提升隔熱裝置或者完全下降晶錠，爐內(nèi)通入大流量氬氣。使晶體溫度逐漸降低至室溫附近；同時(shí)，爐內(nèi)氣壓逐漸上升，直至達(dá)到大氣壓，最后去除晶錠，該過(guò)程約需要10h。
對(duì)于重量為250～300kg的鑄造多晶硅而言，一般晶體生長(zhǎng)的速度約為（0.1～0.2）mm/min,其晶體生長(zhǎng)的時(shí)間約35～45h。
2、多晶硅紅外溫度測(cè)量
硅材料是比較難測(cè)的物體，硅輻射的溫度與發(fā)射率的對(duì)應(yīng)關(guān)系如上圖。硅的發(fā)射率在某個(gè)特定區(qū)域內(nèi)是不變的。需要紅外測(cè)溫儀采用特殊的窄帶濾色片來(lái)減小發(fā)射率變化的影響。
（1）多晶硅液面溫度測(cè)量采用短波長(zhǎng)雙色測(cè)溫儀來(lái)測(cè)量多晶硅液面的溫度。推薦產(chǎn)品：DCTQ1-7XXX（鏈接DCTQ系列雙色紅外測(cè)溫儀），溫度分辨率為0.1℃，溫度場(chǎng)內(nèi)的微小變化都能快速響應(yīng)，并具有極高的溫度穩(wěn)定性。
采用比色測(cè)溫的方法，可以避免硅料直徑變化的影響。視窗的污染，也不會(huì)影響測(cè)溫的準(zhǔn)確性。并有臟鏡頭檢測(cè)功能，鏡頭太臟時(shí)會(huì)提前發(fā)出信號(hào)，保證系統(tǒng)可靠工作。
石墨坩堝光纖式紅外測(cè)溫儀產(chǎn)品特點(diǎn)如下：
測(cè)溫精度可達(dá)0.5%,重復(fù)精度為2℃，溫度分辨率達(dá)0.1℃（16bit）
響應(yīng)時(shí)間10ms～99.99s可調(diào)
采用可調(diào)焦鏡頭，測(cè)量距離0.35m至無(wú)窮遠(yuǎn)
對(duì)探測(cè)器采用PID恒溫控制，消除環(huán)境溫度對(duì)測(cè)量的影響
可視目鏡，清晰顯示被測(cè)目標(biāo)的位置及大小
兼具雙色和單色測(cè)溫功能
雙色模式下，有鏡頭臟檢測(cè)功能
采用工業(yè)級(jí)OLED屏為顯示界面，人機(jī)界面友好
軟硬件等抗干擾設(shè)計(jì)提高系統(tǒng)穩(wěn)定性，可抗2500VDC脈沖群干擾
使用場(chǎng)合有防爆要求時(shí)，在測(cè)量液面的區(qū)域，推薦使用光纖式雙色紅外測(cè)溫儀。推薦產(chǎn)品：SN-7018（鏈接SN系列光纖式雙色測(cè)溫儀）。采用可調(diào)焦鏡頭和紅色激光光源瞄準(zhǔn)，溫度分辨率為0.1℃，具有極高的溫度穩(wěn)定性。采用比色測(cè)溫的方法，可以避免硅料直徑變化的影響。視窗的污染，也不會(huì)影響測(cè)溫的準(zhǔn)確性。并有臟鏡頭檢測(cè)功能，鏡頭太臟時(shí)會(huì)提前發(fā)出信號(hào)，保證系統(tǒng)可靠工作。
（2）石墨坩堝溫度的檢測(cè)
采用短波長(zhǎng)單色測(cè)溫儀來(lái)測(cè)量石墨坩堝的溫度。推薦產(chǎn)品：DCTQ1-XX（鏈接DCTQ系列單色紅外測(cè)溫儀）或者經(jīng)濟(jì)款產(chǎn)品DCTQ（鏈接SN系列單色紅外測(cè)溫儀）。
兩款產(chǎn)品采用1：1綠色光源對(duì)準(zhǔn)目標(biāo)，并采用可調(diào)焦鏡頭（不受安裝距離遠(yuǎn)近的限制），溫度分辨率為0.1℃，具有極高的溫度穩(wěn)定性。
在使用場(chǎng)合有防爆要求時(shí)，在石墨坩堝的區(qū)域推薦使用光纖式單色紅外測(cè)溫儀。推薦產(chǎn)品：DCTQ1-XX光纖式單色測(cè)溫儀）。采用可調(diào)焦鏡頭和紅色激光光源瞄準(zhǔn)，溫度分辨率為0.1℃，具有極高的溫度穩(wěn)定性。
BFS8000熱風(fēng)爐爐內(nèi)紅外測(cè)溫系統(tǒng)
BFS9000真空高溫爐內(nèi)紅外測(cè)溫系統(tǒng)
熱風(fēng)爐紅外測(cè)溫儀是為熱風(fēng)爐或高爐加熱鼓風(fēng)設(shè)備，是現(xiàn)代高爐不可缺少的重要組成部分。現(xiàn)代高爐多采用蓄熱式熱風(fēng)爐，其工作原理是先燃燒煤氣，用產(chǎn)生的煙氣加熱蓄熱室的格子磚，再將鼓風(fēng)站送來(lái)的冷風(fēng)通過(guò)熾熱的格子磚進(jìn)行加熱.。將熱風(fēng)爐輪流交替地進(jìn)行燃燒和送風(fēng)，使高爐連續(xù)獲得高溫?zé)犸L(fēng)。熱風(fēng)爐拱頂?shù)臏囟?，是安全、?zhǔn)確操作熱風(fēng)爐所必需的重要數(shù)據(jù)。
1、傳統(tǒng)熱風(fēng)爐溫度的檢測(cè)是通過(guò)熱電偶來(lái)測(cè)量，采用裝配式鉑銠—鉑熱電偶或雙鉑銠熱電偶，通過(guò)測(cè)量拱頂保溫墻的溫度，間接地控制熱風(fēng)溫度。
2、熱風(fēng)爐耐火材料內(nèi)襯在高溫、高壓環(huán)境下，工作條件十分惡劣。熱電偶對(duì)使用環(huán)境的要求和本身結(jié)構(gòu)的限制，在溫度變化頻繁壓力波動(dòng)大和振動(dòng)的場(chǎng)合，造成了熱電偶測(cè)溫不準(zhǔn)確、反應(yīng)滯后，不能準(zhǔn)確反應(yīng)爐內(nèi)溫度的變化。
3、熱電偶長(zhǎng)期工作在高溫區(qū)1200℃～1300℃，熱電偶接線盒所處環(huán)境溫度亦高達(dá)100～120℃，致使電偶的使用壽命很短，從幾周到幾個(gè)月不等。增加了使用成本和維護(hù)工作量。
4、為了克服上述缺點(diǎn)，本公司設(shè)計(jì)生產(chǎn)的熱風(fēng)爐拱頂紅外測(cè)溫系統(tǒng)能很好地解決了以上問(wèn)題，可確保紅外測(cè)溫系統(tǒng)在復(fù)雜的環(huán)境下可靠工作。
5、該產(chǎn)品除了用于熱風(fēng)爐測(cè)溫外，也可以用于加熱爐內(nèi)溫度的測(cè)量。
6、結(jié)構(gòu)件耐腐蝕，使用多年，外觀也不會(huì)有變化。
精工儀器針對(duì)冶金行業(yè)熱風(fēng)爐應(yīng)用場(chǎng)合，開(kāi)發(fā)出適用于此環(huán)境的雙色紅外測(cè)溫儀。設(shè)計(jì)配置了帶有密封隔離視窗，專(zhuān)用保護(hù)裝置。主裝置采用法蘭連接（可根據(jù)用戶(hù)要求定制），能很方便地連接到拱頂上。
紅外測(cè)溫儀通過(guò)測(cè)量格子磚的溫度來(lái)確定熱風(fēng)的溫度，紅外測(cè)溫儀輸出與溫度對(duì)應(yīng)的4-20mA電流信號(hào)，給計(jì)算機(jī)或記錄儀進(jìn)行處理。雙色紅外測(cè)溫儀能減少發(fā)射率不同、 測(cè)量現(xiàn)場(chǎng)的灰塵、水汽和霧氣、距離的變化和物體局部被遮擋等因素，對(duì)被測(cè)溫度的影響。能夠增加系統(tǒng)的可靠性和減少用戶(hù)的維護(hù)量。
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線棒材、熱軋鋼坯、鍛造、熔鑄爐，水泥窯爐，真空感應(yīng)加熱爐，單晶硅爐、多晶硅爐、熱風(fēng)爐、燒結(jié)爐 |
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測(cè)溫范圍 |
600℃～1600℃ |
700℃～1800℃ |
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探測(cè)器 |
Si/Si（疊層硅） |
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工作波長(zhǎng) |
波長(zhǎng)1：（0.7～1.08）μm，波長(zhǎng) 2：1.08μm |
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主要應(yīng)用 |
熱風(fēng)爐、加熱爐、溶化的玻璃、水泥窯、半導(dǎo)體 |
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距離系數(shù) |
60：1 |
100：1 |
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測(cè)量距離 |
0.35m至無(wú)窮遠(yuǎn)可調(diào) |
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測(cè)量精度 |
±0.5%tm℃（tm為測(cè)溫范圍上限值） |
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分辨率 |
0.1℃ |
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重復(fù)精度 |
±2℃ |
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單色系數(shù) |
0.100～1.000，步距0.001可調(diào)。 |
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雙色系數(shù) |
0.850～1.150，步距0.001可調(diào)。 |
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響應(yīng)時(shí)間 |
10ms～99.99s可調(diào) |
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信號(hào)處理 |
峰值、谷值、平均值，環(huán)境溫度過(guò)高過(guò)低報(bào)警，單色、雙色可切換，掉電保護(hù)等功能 |
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輸出 |
多種模擬量輸出16bit （4mA～20mA，0mA～20mA，0V～5V，0V～10V可選）， |
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模擬量12bit輸出4mA～20mA，分辨率1℃，負(fù)載600Ω |
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報(bào)警輸出：上限、下限報(bào)警，采用光耦繼電器使用壽命無(wú)限制， |
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PNP電平輸出 |
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RS485輸出，可實(shí)現(xiàn)參數(shù)修改，數(shù)據(jù)記錄和查詢(xún)等功能 |
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顯示方式 |
采用工業(yè)級(jí)自發(fā)光OLED顯示屏 |
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供電電源 |
DC（20～30）V，帶過(guò)壓、過(guò)流、短路保護(hù)，功耗：5W（24V@200mA） |
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預(yù)熱時(shí)間 |
內(nèi)置恒溫加熱器，通電10min后測(cè)溫 |
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瞄準(zhǔn)方式 |
目鏡瞄準(zhǔn) |
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接口 |
采用binder密封插頭和12芯高溫屏蔽電纜（長(zhǎng)度2.5m） |
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使用環(huán)境 |
不帶水冷：-30℃～+55℃，吹掃壓力為0.5MPa，流量為20L/ min |
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防護(hù)等級(jí) |
IP65 |
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軋線棒材鋼坯雙色測(cè)溫儀 金屬注射成型燒結(jié)爐紅外測(cè)溫儀 真空氫氣爐紅外測(cè)溫儀 真空熱壓爐紅外測(cè)溫儀 核管退火爐紅外測(cè)溫儀
晶體材料紅外測(cè)溫儀 晶體材料紅外線測(cè)溫儀 氮化硅氣壓爐紅外測(cè)溫儀 氮化硅氣壓爐紅外測(cè)溫儀 碳化鎢氣壓爐紅外測(cè)溫儀 CVD 化學(xué)氣相沉積爐 石墨純化紅外測(cè)溫儀 旋轉(zhuǎn)粉末燒結(jié)爐紅外測(cè)溫儀 真空感應(yīng)熔鑄爐紅外測(cè)溫儀 熱風(fēng)爐拱頂紅外雙色測(cè)溫裝置
